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多晶硅、三氯氢硅尾气净化回收新工艺
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多晶硅尾气新型干法处理技术

随着各国新能源技术开发持续发展,多晶硅的生产持续旺盛,但多晶硅生产也存在着能耗高、污染大的痼疾,其中合成尾气的净化处理是难以克服的主要问题之一,四川开元科技有限责任公司目前针对该气源进行了深入的研究,开发了还原尾气回收净化的新工艺。采用该工艺后,可基本解决氯硅烷回收不彻底的问题,使净化后尾气中的氯硅烷含量降低到ppm乃至色谱检测不出,回收的氯硅烷可以循环利用,降低了原料消耗。与常规回收技术相比,该技术还具有能耗低的优点,同时达到环保和降耗目的。

采用该技术后,只需对流程适当调整,就可将氢气中的微量组分如COCO2CH4N2O2等微量杂质脱除,大大提高氢气品质,使多晶硅的产品质量稳定提高。

我公司可根据用户目前装置实际情况,可对现有工艺进行局部改进或全新设计,达到理想的净化回收效果。

该技术具有完全的自主知识产权,效果优于进口技术,可为用户带来经济效益、环保效益。

三氯氢硅尾气新型干法处理技术

三氯氢硅生产过程中产生的尾气,含有大量氯硅烷、HCL和氢气,目前主要的处理方式是水洗后用碱中和,带来大量废水、废渣,污染严重,并造成资源的严重浪费。

我公司开发的三氯氢硅尾气回收技术,彻底解决了尾气治理的难题,为企业和社会带来了环保和社会效益,同时该技术还为企业带来经济效益。

该技术可有效回收利用尾气中的氯硅烷、HCL和氢气,且回收能耗很低,装置适应性、灵活性强,全自动操作,降能降耗、增产增效。

该技术具有完全的自主知识产权,国际领先。

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